VOC废气处理工艺方法有：喷雾+等离子体法、喷雾+紫外光解法、喷雾+光解等离子体法、微生物法、R共燃烧法、浓度回收法。实际工程应用中，对于气量小、浓度低的场所可考虑采用微生物法。对于易燃废气，一般建议采用喷雾预处理等处理工艺。
各种VOC废气处理工艺的优缺点如下
1喷雾+等离子
其核心原理是等离子体场分解，优点：设备占地面积小，主要用于低浓度；缺点：存一定的安全隐患，净化效果不稳定。
2喷雾+紫外线光解
其核心原理是臭氧分解，优点：净化效果高，处理效果稳定，主要用于低浓度；缺点：需要控制氧化停留时间。
三。喷雾+光解等离子体
其核心原理是臭氧与等离子体复合，优点：净化效率高，主要用于中等浓度；缺点：存一定的安全隐患。
4微生物学方法
其核心原理是生物降解，优点：无二次污染，能耗低；缺点：操作要求高，设备体积大，需要定期补充微生物，维护费用高。
5RCO燃烧法
其核心原理是高温燃烧，优点：主要用于高浓度有机废气，污染成分分解彻底；缺点：能耗高，运行要求高，设备体积大，存一定的安全隐患。
6浓度回收法
其核心原理是萃取浓缩，优点：主要用于含单一组分的废气，回收有价值的组分，具有经济效益；缺点：可操作性要求高。
实际工程应用中，对于气量小、浓度低的场所可考虑采用微生物法。对于易燃废气，一般建议采用喷雾预处理等废气处理工艺。
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