影响光氧光催化性能的因素很多。具体介绍如下几点。
（1） 催化剂结构的影响
以TiO2为例，TiO2主要有两种晶型：锐钛矿型和金红石型。锐钛矿和金红石均属四方晶系。这两种晶型由6个八面体相互连接而成。每个t原子位于八面体的中心，周围有六个O原子。二者的差异主要是由于八面体畸变程度和互连方式的不同。
金红石八面体呈不规则略菱形，每个八面体与10个八面体相连（其中两个八面体共用一个边，八个具有相同的顶角），而锐钛矿型八面体则表现出明显的正交畸变，其对称性低于前者，每个八面体与八个八面体（四个公共边和四个公共顶角）相连。这些结构上的差异导致两种类型的电子带结构不同。锐钛矿型TiO2的带隙为3.3ev，大于金红石型TiO2（eg=3.1ev）。锐钛矿型TiO2的负导带对氧有较强的吸附能力，比表面积大，光生电子和空穴容易分离。这些因素使得锐钛矿型TiO2的光催化活性高于金红石型TiO2。
（2） 催化剂粒径的影响
催化剂的大小直接影响光催化活性。粒径越小，单位质量颗粒数越多，比表面积越大。对于一般的光氧催化反应，反应物充足的情况下，当催化剂表面活性中心的密度一定时，表面积越大，吸附的Oh越多，且？生成高活性的Oh，提高了催化氧化效率。当粒径1-100nm范围内时，会出现量子效应，形成量子粒子，使H++e对具有更强的氧化还原能力，催化活性随量子化程度的增加而增加。另外，尺寸的量化可以使半导体获得更高的电荷转移速率，从而大大降低H+和e-复合的概率，从而提高催化活性。
（3） 光催化剂用量的影响
光催化降解TiO2过程中，反应前后几乎没有消耗。TiO2光催化降解有机磷农药的结果表明，随着TiO2用量的增加，有机磷农药的降解率开始提高。当当量值增加到一定值时，降解率不增加，而是降低。最初的增长是由于？催化剂的增加会产生Oh。当催化剂增加到一定程度时，会影响光吸收。
（4） 光源和光强的影响
光电压谱分析表明，由于TiO2表面杂质和晶格缺陷的影响，TiO2较大的波长范围内具有光催化活性。因此光源的选择比较灵活，如黑光灯、高压汞灯、中压灯、低压汞灯、紫外线灯、杀菌灯等，波长一般250-400nm之间。太阳光作为光源的应用也取得了一些进展。人们发现，有相当数量的有机化合物可以被阳光降解。研究表明，弱光照下，降解速率与光照强度呈线性关系，而中等光强下，降解速率与光强平方根呈线性关系。
（5） 有机物种类和浓度的影响
H、 Hidaka等研究表明，DBS、SDS、BSD等阳离子、阴离子和非离子表面活性剂易被光催化降解，分子中的芳烃比链烃更容易终止裂解，实现无组织化。
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