废气处理过程中，由于停留时间短或废气浓度高，一般采用喷淋塔和活性炭吸附塔相结合的废气处理方案可能达不到排放标准。但只需装置的末端添加紫外光氧催化装置，基本可以达到排放标准。
本废气处理系统中，喷淋塔起到预处理的作用，利用溶液和试剂的溶解和酸碱中和反应或氧化还原反应，去除绝大部分无机废气和部分有机废气。如果浓度过高，可增加几个喷淋塔进行多级过滤。然后排入活性炭吸附塔。活性炭吸附吸收后，大部分有机废气和剩余的无机废气被去除。最后，它被排放到紫外线光氧催化装置中。紫外线灯发出的紫外线将有机废气分解成二氧化碳和水的小分子。
活性炭是一种炭黑，呈粉末状、块状、颗粒状、蜂窝状等，微晶结构使其具有较好的孔结构和较大的比表面积。因此，活性炭具有良好的吸附性能，适合于气相和液相吸附。例如，活性炭是废气处理中应用最广泛的工艺。
鉴于废气处理的价格问题，存较大的价差。如活性炭吸附装置，风量较小，主要采用多层活性炭层进行过滤吸附，达到废气净化的目的。紫外氧催化是一种紫外氧化废气净化设备。它主要利用特殊的高能、高臭氧紫外线照射臭氧气体，改变臭氧气体的分子结构，高能紫外线照射下，将有机或无机聚合物的有害化学链降解为低分子化合物。它可以分解成低分子化合物、水和二氧化碳，通过15米长的烟雾排出。。

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