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光电产品生产过程中VOCs的排放

来源: 发布日期: 2021-03-27 09:34:57
今天,小编将继续为大家介绍光电产品制造业产生废气污染的五大类产品的制造工艺:半导体集成电路、TFT-LCD、led、印刷电路板(PCB)和电子终端产品。这些也是我们废气处理中经常遇到的问题。
① 半导体集成电路制造过程中VOCs的排放主要来源于光刻和显影过程。这些过程中,使用有机溶液(如异丙醇)清洁晶圆表面,挥发的废气是有机废气的来源之一。同时,光刻工艺中使用的光刻胶(photoresist)中含有挥发性有机溶剂,如乙酸丁酯等,晶圆加工过程中产生的有机废气也挥发成气体。
(2) TFT-LCD生产过程中VOCs的排放包括检测和测试。TFT-LCD的制造工艺可达到100多道工序。生产过程中使用了多种化学有机溶剂和特殊气体,产生了大量的VOCs和复杂的组分。TFT-LCD面板生产过程中VOCs的排放主要集中阵列工程和彩色薄膜工程。阵列工程中的光刻(胶合、曝光和显影)和黑色矩形BM膜制造、彩色矩阵膜形成(红、绿、蓝、RGB)、保护膜形成、MVA膜、彩色膜工程中的PS(光间隔)膜形成是VOCs产生的主要来源。TFT-LCD生产过程中产生的VOCs主要是异丙醇,其次是丙酮、单甲醚丙二醇和单甲醚丙二醇醋酸酯,占VOCs总量的90%以上。
③ LED电子元器件生产过程中VOCs的排放LED电子元器件生产过程中产生的VOCs污染物主要来自基板处理和光刻。LED生产过程中产生的VOC种类主要有三氯乙烯、丙二醇醚、异丙醇、丙酮、丁酮等。
④ PCB生产过程中,单面、双面和多面PCB生产过程都会产生VOCs。VOCs的加工环节比较集中,主要来自贴膜、干燥、印刷等行业。挥发性有机化合物的排放类型主要包括甲醛、醇类(乙醇、异丙醇、丁醇、丙醇)、酮类(丁酮)和酯类。贮存过程中会产生一些挥发性有机物,乙酸乙酯的产生和排放是挥发性有机物的主要来源。
⑤ 电子终端产品制造过程中VOCs的排放电子终端产品制造过程中,VOCs的主要来源包括电路板清洗剂(采用有机溶剂型清洗剂)的有机废气、电路板三层防喷漆废气、,机器(底盘)喷漆废气、底盘注塑废气。这些废气来自站场局部排气系统,具有排气量大、浓度低的特点。
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